为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将哈尔滨工业大学2025年12月政府采购意向公开如下：
| 离子注入异形薄膜生长系统 | |
| 项目所在采购意向： | 哈尔滨工业大学2025年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 哈尔滨工业大学 |
| 采购项目名称： | 离子注入异形薄膜生长系统 |
| 预算金额： | 160.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A02100503工艺试验机
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| 采购需求概况 ： |
预计采购一台离子注入异形薄膜生长系统，具体要求如下： ·极限真空度：≤1×10-6Torr ·系统真空检漏漏率：≤5.0×10-7 Pa.l/S ·停泵关机 12 小时后真空度：≤1Pa ·电流范围：15mA～20mA ·直径 150mm 半球内外膜异质膜层均匀沉积（不均匀度：＜8％）
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| 预计采购时间： | 2025-12 |
| 备注： |
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