为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将zycgr210713022025年8月政府采购意向公开如下：
| 12英寸化学机械抛光设备 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210713022025年8月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21071302 |
| 采购项目名称： | 12英寸化学机械抛光设备 |
| 预算金额： | 1840.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A02100699其他试验仪器及装置
|
| 采购需求概况 ： |
对多材料异质集成工艺中钨材料界面进行平坦化处理，保证界面的粗糙度、平整度及介质材料上W的清除满足工艺需求。且支持金属终点监测系统及实时调压系统，金属监测系统检测厚度范围：8000Å—0Å，精确度：0.5%-1%。具有全自动上下料、清洗作业能力，可实现干进干出。满足项目工艺需求
|
| 预计采购时间： | 2025-08 |
| 备注： |
|
