为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将zycgr220119032025年8至12月政府采购意向公开如下：
| 多靶共焦式磁控溅射 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr220119032025年8至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr22011903 |
| 采购项目名称： | 多靶共焦式磁控溅射 |
| 预算金额： | 600.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A02100699其他试验仪器及装置
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| 采购需求概况 ： |
脑机接口神经电极中试平台需要具备全流程微纳加工能力，磁控溅射是电极制造中金属互连层、电极接触层、导电通道、封装阻挡层等关键薄膜的核心工艺。（两台）
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| 预计采购时间： | 2025-08 |
| 备注： |
脑机接口神经电极中试平台需要具备全流程微纳加工能力，磁控溅射是电极制造中金属互连层、电极接触层、导电通道、封装阻挡层等关键薄膜的核心工艺。（两台）
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