为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将zycgr220119032025年8至12月政府采购意向公开如下：
| 原子层刻蚀设备(ALE) | |
| 项目所在采购意向： | zycgr220119032025年8至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr22011903 |
| 采购项目名称： | 原子层刻蚀设备(ALE) |
| 预算金额： | 330.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A02100699其他试验仪器及装置
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| 采购需求概况 ： |
ALE是当前较为领先的刻蚀技术，其使用单原子层活化加去除的方式进行刻蚀，与ALD相反可以做到每次刻蚀去除单个原子层，对刻蚀进行精准控制，对衬底的损伤可降低至最小，得到平滑的衬底。对于先进器件研发，这样的技术可以创造更高性能的应用。
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| 预计采购时间： | 2025-08 |
| 备注： |
ALE是当前较为领先的刻蚀技术，其使用单原子层活化加去除的方式进行刻蚀，与ALD相反可以做到每次刻蚀去除单个原子层，对刻蚀进行精准控制，对衬底的损伤可降低至最小，得到平滑的衬底。对于先进器件研发，这样的技术可以创造更高性能的应用。
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