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无掩模光刻机
采购意向
浙江-杭州市
发布时间 2025-08-28
招标正文:

为便于供应商及时了解政府采购信息,根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》(财库〔2020〕10号)等有关规定,现将浙江大学2025年9月政府采购意向公开如下:


无掩模光刻机
项目所在采购意向: 浙江大学2025年9月政府采购意向
采购单位: 浙江大学
采购项目名称: 无掩模光刻机
预算金额: 85.000000万元(人民币)
采购品目:
A02100399+其他光学仪器
采购需求概况 :
无掩模光刻机,用于微流控芯片加工中SU-8光胶光刻,数量1台,380nm激光光源,分辨率1920×1080,最小线宽2μm,支持机器视觉智能主动对焦功能、交互式套刻指引功能、原位绘制光刻图形、实时光刻图形的预览功能,支持样品图形和光刻图形绑定,实时对应,支持光刻图形算法畸变矫正,实现精准套刻,支持阵列画图、套刻画图
预计采购时间: 2025-09
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