为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将上海交通大学2025年10至11月政府采购意向公开如下：
| 氧化铪原子层沉积设备 | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2025年10至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | 氧化铪原子层沉积设备 |
| 预算金额： | 520.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A02109900其他仪器仪表
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| 采购需求概况 ： |
1)沉积精度：单原子层（0.1–0.3 nm/cycle）；2)沉积速率：0.1–1 nm/cycle；3)均匀性：±4%（4 inch）；4)保形性：100%覆盖；5)真空度：<10？？ Torr；
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| 预计采购时间： | 2025-10 |
| 备注： |
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