| 采购内容 | 数量/单位 | 预算单价 | 品牌 | 型号 | 规格参数 | 质保及售后服务 | 附件 |
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| SINO-ALD R200设备用Si源及源管路组件 | 1.0/套 | 198000.0 | 邑文 | 800ml，SUS316L | 1.原H2O源管路改为Si源管路。 2.原NH3管路分成2路，1路H2O，1路NH3。且可以实现管路实现H2O工艺与NH3的切换。 3.水源瓶规格：800ml，SUS316L。 4.管路规格：3/8’ SUS316L。 5.配置管路Purge功能，保证源切换时吹扫干净无残留。 6.验收指标：8英寸硅衬底上实现热型O3-SiO2生长；沉积温度最高300℃；沉积速率>0.9A/Cycle；材料折射率1.46±0.02@633nm；片内均一性偏差<2%，片间均一性偏差<2%； 7.质保期不低于2年 | 按行业标准提供服务 |
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