为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将中国科学技术大学2025年9至12月政府采购意向公开如下：
| 大面积高速电子束直写系统 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学技术大学2025年9至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学技术大学 |
| 采购项目名称： | 大面积高速电子束直写系统 |
| 预算金额： | 1773.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A02109900其他仪器仪表
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| 采购需求概况 ： |
（1）加速电压≥100kV；（2）扫描频率≥100MHz；（3）写场≥1000μm*1000μm；（4）样品尺寸：8寸向下兼容，支持碎片，2mm*2mm样品可直接装样；（5）主场拼接精度≤±15nm，套刻精度＜±30nm（写场不小于100μm*100μm）；（6）束流稳定性：Beam Current <±0.2%/h，Beam Drift <±30nm/h
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| 预计采购时间： | 2025-10 |
| 备注： |
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